23年无图CP查重59标红-硕论4.7万字用于硅背板GaNMicro-LED的衬底去除技术研究.docx

用于硅背板 GaN Micro-LED 的衬底去除技术研究用于硅背板 GaN Micro-LED 的衬底去除技术研究21.2 研究目的及意义61.3 Micro-LED 显示技术研究进展和发展趋势 71.4 主要研究内容及论文结构 10第二章 Micro-LED 的原理与结构112.1 Micro-LED 的原理 112.1.1 工作原理112.2 Micro-LED 的结构 142.2.1 Micro-LED 的外延材料结构142.2.2 Micro-LED 的衬底材料 182.2.3 Micro-LED 的衬底去除 22第三章 湿法去衬底工艺仿真243.1.1 仿真软件介绍243.1.2 仿真语言介绍273.2 工艺仿真过程293.2.1 湿法刻蚀原理293.2.2 刻蚀仿真过程34第四章 Mi...