26年CH通信工程电容电压可调薄膜电容的研究-全日制终稿(16883字).docx

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I电容电压可调薄膜电容的研究物理与信息工程学院通信工程（闽台合作） 220308043 赵幸铖指导教师潘淼副教授摘要如今各类电子元件不断朝着体积更小、排布更密、集成度更高的方向发展，原本常用的固定电容，已经没法适配可变电容、自适应电路这类使用场景，也达不到电路动态调节的实际要求，电压可以变化的薄膜电容，也就慢慢成为电子相关领域里，不少人开展研究的主要方向。本次实验选用金属铂作为基底材料，实验所用设备为 JGP560H 型高真空多功能镀膜设备，设备同时支持磁控溅射与热蒸发两种镀膜方式，实验过程里借助射频磁控溅射的方法，制作出多层叠加...

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