26年WP物理学专业非晶Y2O3薄膜的制备和研究7.76-AI2.15全日制(9690字).docx

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I摘要在微电子、光学薄膜及高温超导材料技术发展背景下，非晶 Y₂O₃ 薄膜因为没有晶界、表面平整、化学和介电性能良好，在超导缓冲层、电子存储器件等领域的需要不断增加并且具有重要的研究价值。考虑到在制备过程中结构容易受到工艺影响，本文使用脉冲激光沉积法（PLD），把氧化钇稳定氧化锆基片当作衬底，整体分析生长温度和氧气气氛给薄膜结构与界面质量带来的影响。本文使用 X 射线衍射（XRD）和 X 射线反射率（XRR）对薄膜进行表征。XRD 用来判断结晶状态和结构特征，XRR 用来获取薄膜厚度、界面平整度及成膜质量。分析表明，生长温度会调节非晶结构，...

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