26年WP电子科学与技术用于检测环境pH的石墨烯场效应晶体管的设计7.73-AI21.42全日(12546字).docx

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IWHKJ 大学本科毕业设计摘要石墨烯场效应晶体管（Graphene Field-Effect Transistor，GFET）以其优秀的响应速度和灵敏度在生化传感领域具有很好的应用前景。然而传统的制备工艺成本高、制备麻烦，限制了其实际应用性价比。本文研究了一种模块化制备液栅型 GFET 的方法，将器件拆分为石墨烯基底模块和聚二甲基硅氧烷（PDMS）通道模块，分别进行加工后组装成型。一方面，使用湿法转移工艺将单层石墨烯转移至二氧化硅基底上，通过金相显微镜和拉曼光谱观察石墨烯质量。另一方面，使用光刻工艺制造 SU-8 阳模，并灌注 PDMS 得到对应的通道模块，并对该模块进行打...

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