26年WP金属材料工程 YIG薄膜制备及退火后性能研究6.33-AI23.23全日(14528字).docx

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IWHKJ 大学本科毕业论文摘要铁石榴石（YIG）薄膜材料因为具有超低吉尔伯特阻尼、高电阻率与优异的磁光特性，成为微波光电子器件，电子通信等领域的重要材料。且 YIG 薄膜的研究已形成成体系的系统。常见的制备方法包括液相外延，磁控溅射与脉冲激光沉积（PLD），其中 PLD 法主要用于实验室制备 YIG 薄膜，也是本次研究选用的方法。现在国内外研究学者重点研究 YIG 制备条件和工艺处理对结晶质量、磁各向异性和动态磁性能的影响。不过现有研究对工艺，结构与性能的协同作用缺少系统地梳理，且现今低温沉积薄膜普遍存在结晶度低、内应力大、氧空位多和磁损耗偏...

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