26年WP机械电子工程 (AlCrNbTiV)Nx高熵合金薄膜摩擦学性能研究10.58-AI14.84_1-约24751字符-全日制.pdf

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WHKJ大学本科毕业论文摘要针对高端装备零部件在复杂工况下的磨损失效问题，采用反应磁控溅射法制备了(AlCrNbTiV)NX 高熵合金氮化物薄膜。系统研究了氮气流量对薄膜微观结构、力学性能和摩擦学性能的影响。采用 XRD、SEM、EDS 和 XPS 对其物相组成、形貌、元素分布和化学状态进行表征，并通过纳米压痕和往复摩擦磨损试验评价其力学和摩擦学行为。试验结果显示，随着氮气流量的逐步提高，薄膜从较为疏松的结构逐渐转变为致密且均匀的纳米晶结构，晶粒得到明显细化，物相结构稳定且未出现杂相。薄膜的硬度与弹性模量随之明显提升，并在 S5 样品达到最优水平，硬度为...

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