26年WP金属材料工程 CFCA哈斯勒合金薄膜的制备与铁磁共振研究2.23-AI35.77全日(15560字).docx

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IWHKJ 大学本科毕业论文摘要高频通信和低功耗自旋电子器件的快速发展，传统半导体器件的性能瓶颈变得非常明显，具有高自旋极化率和低磁阻尼特性的 Heusler 合金变成了研究热点。CoFeCrAl（CFCA）和 CoFeMnSi（CFMS）这两种四元 Heusler 合金由于在理论上拥有自旋零带隙特点，被看作是制作低损耗自旋器件的合适材料。但是，现有制备工艺条件下，薄膜通常表现出原子有序度不够、界面质量较差、磁阻尼较大的问题，工艺参数对微观结构和磁动力学性能的调节方式尚不清楚，这使其在实际应用中受到限制。本论文以 CFCA 和 CFMS 薄膜为研究对象，采用直流磁控溅射方...

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