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26年CH机械自动化 基于光谱共聚焦技术的微观形貌测量研究物理与信息工程-终稿全-约17429字符.pdf

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基于光谱共聚焦技术的微观形貌测量研究 物理与信息工程学院 机械设计制造及其自动化专业 220311003 曾扬春 摘要 随着高端制造领域对微观形貌检测的高精度的无损测量需求日益迫切,传统测量方法存在精度局限、易损伤样品等问题,而光谱共聚焦技术具备高轴向分辨率、抗环境干扰强等优势,因此开展其在微观形貌测量中的应用研究,对满足精密制造检测需求具有重要意义。 本文基于色散编码与共聚焦效应核心原理,设计搭建了包含光源模块、色散光路模块和数据采集模块的测量系统,通过平面镜标定建立波长与轴向高度的线性映射关系,以一元硬币表面沟壑区域为样品,进行...

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