26年CH机械自动化基于光谱共聚焦技术的薄膜厚度检测方法-终稿全(12141字).docx

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基于光谱共聚焦技术的薄膜厚度检测方法物理与信息工程学院机械设计制造及其自动化专业 220311047 朱芷杨摘要薄膜在生产、生活和科学研究中都有着重要的作用。透明薄膜的生产日益增加，选择一种速度快、精度高的测量技术对其进行厚度检测显得尤为重要。光谱共聚焦技术凭借着强反光物体或透明物体检测速度快、纵向检测精度高，还有着抗干扰能力强的特点，使其在测量薄膜方面有着突出的优势。此技术原理是用复色光源对物体照射，通过对传播至物体的光的反射光进行检测并标定反射光的波长信息与其位移的关系，再通过反射光的信息获得薄膜的上下两面的位置，从而测得薄膜...

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