26年WH电子科学与技术磁透镜的聚焦效应仿真设计5.3-AI1.39(20740字).docx

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DBSYDX 本科生毕业设计（论文）摘要磁透镜是电子显微镜等电子光学设备中实现电子束聚焦的核心元件，聚焦性能直接影响设备的分辨率和成像质量。本文根据电子光学理论和有限元方法，建立了轴对称磁透镜和四极透镜的有限元模型，对聚焦效应的参数化仿真进行了研究。阐述了电子的波粒二象性、电子在磁场中的受力和运动规律；分析了磁透镜的聚焦机制，推导出轴对称磁场的分布特征和焦距公式；介绍了球差、色差和像散等像差理论以及它们对聚焦质量的影响。为后面进行仿真分析奠定了扎实的理论准备。仿真研究励磁电流对磁透镜磁场分布、磁共能、电子轨迹、聚焦光斑尺寸的影响...

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