26年WP新能源材料与器件亚毫米间隙不同气压下针-针电极直流放电击穿特性研究14.12-AI24.41(33693字).docx

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- I -哈尔滨理工大学学士学位论文亚毫米间隙不同气压下针-针电极直流放电击穿特性研究摘要随着电子设备不断微型化，元器件之间的距离越来越小，微小间隙内的气体放电行为会直接影响器件的安全与稳定，同时这类放电现象在材料处理等领域也有重要应用价值。为了明确极小电极间隙、不同气压下气体放电的击穿规律，本文以针-针电极结构作为研究对象，搭建了能工作在101-10kPa 气压范围的针-针放电实验平台，并在 100-300μm 的间隙条件下，分别对空气和 Ar 两种气体环境进行了击穿实验研究，实验采用直流放电模式，通过测量放电起始击穿电压、击穿电流峰值并拍摄放...

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