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26年WP材料成型及控制工程 陶瓷-金属贯穿件真空钎焊接头微观组织分析11.95-AI17.4_1(18437字).docx

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哈尔滨理工大学学士学位论文- II -陶瓷-金属贯穿件真空钎焊接头微观组织分析摘 要陶瓷-金属贯穿件在高真空设备、半导体制造、航空航天领域里起到了连接导电和密封功能的主要作用,焊接接头的成型情况会影响到器件的气密性能、绝缘特性、在长期使用过程中的可靠性。本文选择由 Al2O3陶瓷、Fe-Co-Ni 可伐合金、Fe-Cr-Ni 不锈钢和无氧铜组装的真空贯穿件作为研究对象,使用基体表面化学镀镍预处理配合 AgCuTi 活性钎料真空钎焊的方法制作异质连接接头,利用扫描电子显微镜、能谱分析和元素面扫描技术,整体分析基体表面涂层的结构特点、三组主要接头的界面微观形貌...

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