26收ZY干式螺杆真空泵的设计及工程应用.doc

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摘要干式螺杆真空泵作为新一代无油容积式真空获得设备，解决了传统油式真空泵的油污染问题，在半导体、光伏、医药、化工等对真空清洁度要求极高的行业得到了广泛应用。本文以 LG110 型干式螺杆真空泵为研究对象，系统开展了从热力过程分析到结构设计、强度校核、系统集成的全流程设计计算工作。首先，基于热力学基本理论，深入分析了吸气、压缩、排气三个工作过程的热力学特性，推导了多变压缩过程的功率计算公式，确定了最优吸气压力和最大压缩功率；其次，完成了电机选型计算和传动系统参数匹配，验证了极限真空性能；再次，详细设计了螺杆转子的几何参数，包括外...

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