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25年WP电子科学与技术 基于微腔结构的双芯单孔光纤曲率传感特性研究13.63-AI24.29-约18960字符.doc

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摘 要在工业检测以及医疗设备等诸多领域,对于高精度曲率测量的需求呈现出日益增长的态势,在此背景下,传统电子传感器于抗电磁干扰以及微型化方面遭遇了挑战,微腔结构的光纤曲率传感器有灵敏度较高、体积较小等优点,不过其加工工艺以及性能优化依旧需要展开深入的研究,本文希望能够开发一种新型的双芯单孔光纤曲率传感器,以此来解决现有技术里存在的灵敏度不够以及工艺复杂等问题。 本研究提出了基于微腔结构的双芯单孔光纤曲率传感器设计方案,运用二氧化碳激光刻蚀技术来制备微腔结构,并且开展系统的性能测试,研究重点覆盖传感单元长度优化、微腔加工工艺改进...

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