26年WP测控技术与仪器 二氧化碳MOS传感器热漂移校正方法研究1.72-AI2.43(45165字).docx

- I -哈尔滨理工大学学士学位论文二氧化碳 MOS 传感器热漂移校正方法研究摘 要金属氧化物半导体气体传感器，也称为 MOS 传感器，由于成本低、响应速度快，在环境监测、智能家居以及工业安全等众多领域得到了广泛的应用。但是这类传感器有一个很重要的问题，就是它对温度非常敏感，当环境温度变化范围变大时，测量精度会明显下降，这也是它能否在更苛刻的环境下稳定工作的关键瓶颈。本文主要研究二氧化碳 MOS 传感器，在不同的环境温度下输出信号会出现非线性漂移，为了解决这个问题，本文提出了一个基于单元分段拟合的热漂移校正方法，并且用自己搭建的软硬件协...