26年WP新能源材料与器件亚毫米间隙惰性气体下针板电极的击穿特性研究5.01-AI19.12(24572字).docx

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I哈尔滨理工大学毕业设计2026 年 5 月 28 日题目：Ar-He-Air 不同混合比在亚毫米间隙针板电极下的击穿特性研院、系：电气与电子工程学院姓名：张忻怡指导教师：孙志系主任：韩柏I哈尔滨理工大学学士学位论文Ar-He-Air 不同混合比在亚毫米间隙针板电极下的击穿特性研究摘要随着微电子器件和高密度集成结构不断小型化，器件内部绝缘间隙已缩小至亚毫米尺度，即使工作电压较低，但气体放电击穿的风险随之上升。针-板电极结构可形成极不均匀电场，常被用于研究微间隙击穿机理及放电形态演化过程。以 300μm 针板间隙为研究对象，在 ...

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