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26年WH电子信息工程 超低能耗的光传感器的设计极其性能研究7.1-AI40.68-约15512字符(13703字).docx

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I齐鲁师范学院学士学位论文 超低能耗的光传感器的设计及其性能研究摘 要针对传统 PIN、MSM 等结构光电探测器存在静态功耗和暗电流难以消除的问题,本文设计了一种基于金属-绝缘体-半导体(MIS)结构的电容式硅基光探测器。该探测器的核心结构自上而下依次为:上金属铝电极、二氧化硅绝缘层、硅光吸收层以及下金属铝电极,整体形成平行板电容构型。其中,硅层作为光敏介质用于吸收光信号并产生光生载流子,二氧化硅绝缘层用于阻断直流电流通路以实现零静态功耗。探测器的工作原理基于光电效应与电容充放电机制:在无光照暗态下,探测器处于”零电流”待机状态;当 85...

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