25年WP微电子科学与工程-基于Silvaco平台的半导体离子注入工艺仿真及优化13.990-12886.doc

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i基于 Silvaco TCAD 的离子注入工艺仿真研究目录摘要IAbstractII第 1 章绪论11.1 引言...............................................................................................................................11.2 研发背景及意义...........................................................................................................1第 2 章离子注入工艺理论与 TCAD 仿真22.1 离子注入基本原理.......................................................................................................22.2 工艺参数对注入...

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